KIP-Veröffentlichungen

Die Optimierung des Herstellungsverfahrens flüssigprozessierter Zinnoxidschichten sowie das Verständnis der hierbei beteiligten Prozesse ist das Ziel dieser Arbeit. Hierzu wurde eine Präkursorlösung aus SnCl₂ · 2 H₂O in Ethanol beziehungsweise Methoxyethanol auf Siliziumsubstraten per Rotationsbeschichtung aufgebracht. Während des anschließenden Ausheizens der Proben reagierte der Präkursor zu Zinnoxid. Die infrarotspektroskopischen Untersuchungen zeigen, dass der Zinnhydroxid- sowie der Wassergehalt in den Zinnoxidschichten mit zunehmender Ausheiztemperatur abnimmt. Außerdem nimmt die Kristallinität sowie die Größe der Kristallite mit ansteigender Ausheiztemperatur zu. Die Zwischenprodukte SnO und Sn(OH)₂ reagieren ab 350 °C zu SnO₂ . Während mit dem Lösungsmittel Ethanol inhomogene Zinnoxidoberflächen erzielt werden, weisen Zinnoxidschichten basierend auf einer Präkursorlösung aus Methoxyethanol eine homogene, flache Oberfläche auf.

The optimization of the production method of solution-processed tin oxide films as well as the understanding of the involved processes is the purpose of this work. A precursor solution of SnCl₂ · 2 H₂O in ethanol or methoxyethanol was spin-coated on silicon substrates. During the subsequent annealing, the precursor was converted to tin oxide. The infrared spectroscopic investigations show the decrease of the tin hydroxide and water content in the tin oxide films with increasing annealing temperature. Furthermore, the cristallinity as well as the size of the crystallites increases with rising annealing temperature. The intermediates SnO and Sn(OH)₂ react from 350 °C to SnO₂ . Whereas inhomogeneous tin oxide surfaces have been obtained with the solvent ethanol, tin oxide films based on a precursor solution of methoxyethanol exhibit a homogeneous, flat surface.